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k8凯发天生赢家工业集团两项技术入选2022年“科创中国”先导技术榜

近日，中国科协宣布2022年“科创中国”系列榜单遴选结果，中国k8凯发天生赢家工业集团微电子院“高性能MOEMS晶圆制造技术”、西安近代化学研究所“原子层沉积（ALD）纳米制造技术”入选“科创中国”先导技术榜（工业基础领域）。

高性能MOEMS晶圆制造技术

微电子院突破高性能MOEMS晶圆制造系列要害技术，多项技术和产品填补海内空白，建立了国际先进、具有自主知识产权的技术体系，实现了光衰减器、光开关阵列、可调光滤波器、MOEMS扫描镜等产品的研爆发产，这些产品是光交叉、智能光束控制和扫描成像的焦点芯片，在5G通信、无人驾驶、智慧工业等领域具有辽阔的应用前景，为国家生长战略性新兴工业提供重要支撑。

原子层沉积（ALD）纳米制造技术

原子层沉积（ALD）是一种先进的薄膜沉积与纳米结构制造技术，借助该技术可对物质外貌组成及结构进行原子层面的精确利用，在质料外貌引入特定的物理或化学性质，实现多种纳米质料的高精度可控合成。西安近代化学研究所原子层沉积外貌工程与纳米制造技术团队具备开展ALD先进设备及工艺研发、高水平基础研究以及工程化应用能力，通过自主立异，开端实现了ALD先进设备及相关技术工业化，并且开创性地将ALD技术乐成应用于多个研究偏向，成为推动我国ALD技术生长的中坚力量。

据了解，“科创中国”榜单由中国科协设立，旨在通过优选引领人物、新锐企业及先导技术，引导探索技术效劳与交易新业态、新组织、新模式，激活立异引领的相助动能，为实现高水平科技自立自强提供支撑。

来源/微电子院、西安近代化学研究所